激光剥蚀系统的主要功能是利用193nm的准分子激光把地质样品(矿物、玻璃)剥蚀出来，利用高纯He气把样品以气溶胶的形式送入到电感耦合等离子质谱中进行分析。空间分辨率高，激光束斑最小为4微米，可以对感兴趣的微小区域进行分析。激光能量密度大，可以剥蚀像石英等相对透明的矿物。
激光剥蚀
激光剥蚀的特性：
1、能够准确测定各类样品中ppb级的痕量元素浓度及类型
2、LA-ICP-MS在进行整体分析时降低了对样品前处理的要求，有助于难消解陶瓷和合金材料的分析
3、简化并/或免除了样品前处理过程，缩短了分析时间
4、无损采样保留了大部分原始样品，因此在必要时就能对样品进行更多的测定
5、集成控制能够对预定义剥蚀点进行无人值守的序列分析
6、能够实时处理数据
7、与可选软件包（包括Glitter数据提取软件）兼容
激光剥蚀的控制系统：
1、J200气体控制系统使用了两个高精度、数字化质量流量控制器（MFC）和电子控制阀，用于氩气、氦气及补充气体的输送。
2、运输气体和补充气体流向样品室，ICP-MS系统按顺序自动运行，并被精确控制，带来理想的气流，防止等离子体火焰熄灭。预设配置可以选择输送氩气、氦气或补充气体。
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